– 대기 분위기 제어 – 전극(ITO, etc…) 타겟 – 연속 열처리 – 대기 탈지
– GPS– CVD– HOT PRESS– SINTERING SYSTEMS– VACUUM DEBIND
– 열처리 시스템 – SiC Roller, etc… – MoSi2, SiC Heater – Mo, W
EQUIPMENT DEVELOPMENT– GRAPHITATION– HOT PRESS SYSTEM– VACUUM SYSTEM
MATERIALS DEVELOPMENT– Aluminum Nitride– Silicon Carbide (Sinter or Deposition)– Graphite for seal
– AlN – RAW MATERIAL FOR CUTTING TOOL